LTN經濟通》中國買先進曝光設備 要看日本臉色？

發表於 2023-11-27 08:00 作者： 區塊鏈情報速遞pro

全球半導體曝光機市場由荷蘭艾司摩爾、日本佳能和尼康3大廠商瓜分。（路透資料照，本報合成）

ASML全球市佔62% 佳能31% 尼康7%

〔財經頻道／綜合報導〕日本2大廠尼康（Nikon）和佳能（Canon）曾在1990年代之前領導曝光機市場，但在最尖端的EUV（極紫外光）設備研發大戰中，荷商艾司摩爾（ASML）迅速竄起，幾乎壟斷了最先進的曝光機市場，EUV曝光機在2010年代後期開始實用化，至今全球仍只有ASML有能力生產。

全球半導體曝光機市場由3大廠商瓜分，以2022年曝光機銷量來看，艾司摩爾全球市佔高達62％，排名第2的是日商佳能市佔31％，尼康則以7％市佔排在第3位。隨著半導體產業成為全球科技戰的焦點，近期尼康和佳能也加速佈局，盼能重新奪回長年丟失的市佔，追上目前的市場龍頭艾司摩爾。

佳能在10月宣佈推出新的微影技術奈米壓印設備，盼重新在尖端半導體設備領域站穩腳步。（圖擷自佳能官網）

佳能奈米壓印機 可應用在5奈米

日商正力爭在尖端半導體設備領域重新站穩腳步，經過長達10年的研發，佳能在10月宣佈推出新的微影技術奈米壓印（Nano Imprint Lithography，NIL），以低成本、低耗能的方式來製造智慧手機、資料中心所需的先進半導體。

佳能半導體機器事業部長巖本和德（Kazunori Iwamoto）表示，在達到量產所需的水準之前，公司仍面臨挑戰，但相信新的技術可以在複雜的電路模式等領域當中發揮出色的作用。

在晶圓上繪製電路時，一般會採用曝光裝置，奈米壓印則與以往的曝光技術不同，以蓋章一樣的形式印刷電路，由於製程相對簡單，可以減少設備投資額，這項新技術也依賴了佳能長年穩定、強大的噴墨印刷、相機技術。奈米壓印技術可以用於製造低於5奈米節點的產品，佳能高層表示，希望有一天能將這項技術應用在最先進的2奈米世代產品。

先進曝光機市場幾乎由艾司摩爾壟斷，日商恐難撼動地位。（路透資料照）

奈米壓印無法處理複雜設計

英國研究公司Omdia的杉山和弘（Kazuhiro Sugiyama）表示，考慮到現在很難撼動艾司摩爾地位，佳能憑藉新技術進入市場，這對於產業而言也是一件好事。不過杉山也補充，佳能要一下子推翻壟斷並不容易，但該公司可能可以在某些產品類別上佔上風，例如小批量的訂製產品和電路圖形複雜的產品。

半導體市場研究公司SemiAnalysis創辦人派特爾（Dylan Patel）則指出，由於對齊晶圓和模具需要的精準度，奈米壓印很容易出現缺陷。這項技術還無法處理相對複雜的設計，包括AI模型中使用的處理器。派特爾預估，未來佳能的設備將用於製造層數較少的記憶體晶片，而非相對先進的邏輯晶片。

佳能社長御手洗富士夫（Fujio Mitarai）表示，奈米壓印微影技術將成為改變產業局面的關鍵，將為小型半導體製造商生產先進晶片開闢一條新的道路。御手洗也透露，佳能的奈米壓印設備價格將比艾司摩爾的EUV機器低1位數，隨後補充，目前還未敲定最終定價。

艾司摩爾是目前EUV微影設備的唯一供應商，這些工具是生產全球最先進晶片所需的設備，每台價值數億美元，這也代表只有少數現金充裕的公司有能力投資這些設備。御手洗坦言，自己不認為奈米壓印技術會超越EUV，但相信這將為產業創造新的機會和需求，並提到，目前佳能已經收到許多客戶的詢問。

尼康將推出曝光機新產品，試圖重振低迷的精機業務。（圖擷自尼康官網）

尼康計畫2024推新曝光機

同為日商的尼康在曝光設備方面也落後艾司摩爾，半導體設備相關的精機業務，以及相機影像業務是尼康的2大支柱，但在高階相機銷售強勁帶動影像業務的情況下，低迷的精機業務形成強烈對比。尼康預測，截至2024年3月結束的2023會計年度，合併淨利潤將年減22％，降至350億日圓（約新台幣73.4億元）。

為了重振業績，尼康選擇轉變半導體曝光機業務的戰略，作為打開局面的對策，尼康將在2024年夏季，推出曝光機新產品。

尼康睽違24年推出採用成熟技術的i線步進式曝光機新機型，可用於製造350奈米線寬的成熟製程晶片，適用於生產功率半導體，包括碳化矽（SiC）、氮化鎵（GaN）等功率半導體。有分析認為，由於尼康將使用通用的電子零組件，價格有望比佳能便宜2-3成左右。

外界認為，日廠若想在微影技術領域突破重圍，或將目標放在中國市場。（法新社資料照）

尼康新品 不在限制之列

在艾司摩爾幾乎壟斷先進設備市場的情況下，外界認為，日本2大廠若想要突破重圍，或許要將目光看向中國市場。在美國收緊規範下，限制盟友將技術流向中國，艾司摩爾因此受到嚴格審查，並被禁止向中國客戶出口EUV設備。

這個消息給日商帶來一絲希望，儘管東京在7月也擴大了晶片相關產品出口限制，以佳能新推出的設備來看，目前仍未明確提及奈米壓印技術，但預計將受到密切關注；尼康即將推的新品並非最尖端技術，則預計不列入出口管制範圍之中。

佳能社長御手洗受訪時透露，目前任何超過14奈米製程技術的出口都被禁止，因此自己認為佳能新品可能無法銷往中國。尼康精機事業本部長濱谷正人（Masato Hamatani）則表示，目前正在與日本經濟產業省討論，認為沒有問題，將在中國積極銷售。

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